シリコンウェーハラッピングには、緑色のシリコンカーバイド粉末5um 6um 8umを使用します
グリーン シリコンカーバイド (SiC) はカーボランダムとも呼ばれ、化学式 SiC のシリコンと炭素の化合物です。自然界では非常に希少な鉱物モアッサナイトとして存在します。合成シリコンカーバイド粉末は、研磨剤として使用するために 1893 年から大量生産されています。シリコンカーバイドの粒子は焼結によって結合して非常に硬いセラミックを形成し、自動車のブレーキ、クラッチ、防弾チョッキのセラミックプレートなど、高い耐久性が求められる用途に広く使用されています。初期のラジオの発光ダイオード (LED) や検出器など、シリコンカーバイドの電子用途は、1907 年頃に初めて実証されました。SiC は、高温または高電圧、またはその両方で動作する半導体電子デバイスに使用されます。レリー法では、シリコンカーバイドの大きな単結晶を成長させることができ、合成モアッサナイトと呼ばれる宝石にカットすることができます。植物材料に含まれる SiO2 から、表面積の大きいシリコンカーバイドを生成できます。
| 粒子サイズ | 粒子分布（µm） | |||
| 最大粒子サイズ | d 03での粒子サイズ | d 50における粒子サイズ | d 94での粒子サイズ | |
| ＃240 | ≤ 127 | ≤ 103 | 58.6 ± 3.0 | ≥ 40.0 |
| ＃280 | ≤ 112 | ≤ 87.0 | 49.4 ± 3.0 | ≥ 33.0 |
| ＃320 | ≤ 98.0 | ≤ 74.0 | 41.1 ± 2.5 | ≥ 27.0 |
| ＃360 | ≤ 86.0 | ≤ 66.0 | 36.1 ± 2.0 | ≥ 23.0 |
| ＃400 | ≤ 75.0 | ≤ 58.0 | 30.9 ± 2.0 | ≥ 20.0 |
| ＃500 | ≤ 63.0 | ≤ 50.0 | 26.4 ± 2.0 | ≥ 16.0 |
| ＃600 | ≤ 53.0 | ≤ 43.0 | 21.1 ± 1.5 | ≥ 13.0 |
| # 700 | ≤ 45.0 | ≤ 37.0 | 17.9±1.3 | ≥ 11.0 |
| ＃800 | ≤ 38.0 | ≤ 31.0 | 14.7±1.0 | ≥ 9.00 |
| ＃1000 | ≤ 32.0 | ≤ 27.0 | 11.9±1.0 | ≥ 7.00 |
| ＃1200 | ≤ 27.0 | ≤ 23.0 | 9.90 ± 0.80 | ≥ 5.50 |
| ＃1500 | ≤ 23.0 | ≤ 20.0 | 8.40 ± 0.60 | ≥ 4.50 |
| ＃2000 | ≤ 19.0 | ≤ 17.0 | 6.90 ± 0.60 | ≥ 4.00 |
| ＃2500 | ≤ 16.0 | ≤ 14.0 | 5.60 ± 0.50 | ≥ 3.00 |
| ＃3000 | ≤ 13.0 | ≤ 11.0 | 4.00 ± 0.50 | ≥ 2.00 |
| ＃4000 | ≤ 11.0 | ≤ 8.00 | 3.00 ± 0.40 | ≥ 1.30 |
| # 6000 | ≤ 8.00 | ≤ 5.00 | 2.00±0.40 | ≥ 0.80 |
| ＃8000 | ≤ 6.00 | ≤ 3.5 | 1.20 ± 0.30 | ≥ 0.60 (1) |
| # 10000 | 0.51〜0.70 | |||
グリーンシリコンカーバイドの用途
- カメラレンズなどの硬質光学ガラスの精密研磨。
- チタン合金、超硬合金などの硬質金属CNBナイフへの研磨ブラスト加工。
- 石英ガラスの研磨と研削。
- 硬い石、大理石、花崗岩などの研磨。
- PZT/圧電セラミックの研磨。
- 銅および銅合金のブラスト処理。
- ダイヤモンド工具の表面処理。
- ワイヤーソーイング。
- ダイヤモンドや辰砂などの宝石の研磨。
- その他薄い脆い材料の精密部品の研削。
- 防火新ナノエアロゲル。
- 焼結セラミックスなどの耐火断熱材。
- テフロンコーティング。
- フッ素カーボンコーティングとペイント。
- 航空機ブレーキなどの高品質ブレーキ添加剤。
- シリコンカーバイドセラミックフィラー。
- 湿式ダイヤモンド研磨パッド、PVC研削ディスクなどの研磨ツール。
レビュー
レビューはまだありません。